Exclusive: ASML's next-gen EUV-tools klaar voor massaproductie van chips

In dit artikel:

ASML zegt dat zijn volgende generatie extreem-ultraviolette (High-NA EUV) lithografiemachine nu klaar is voor inzet in massaproductie, zo verklaarde CTO Marco Pieters tegen Reuters. Het Nederlandse bedrijf, de enige commerciële leverancier van EUV-machines, presenteert de onderliggende beeldvormingsgegevens donderdag tijdens een technische conferentie in San Jose. Volgens ASML hebben de nieuwe tools al ongeveer 500.000 wafers verwerkt, tonen ze voldoende precisie om schakelingen te tekenen en kennen ze beperkte uitvalstijd — signalen die samen aangeven dat de kinderziektes grotendeels zijn opgelost.

De High-NA-machines, die circa 400 miljoen dollar per stuk kosten (ongeveer dubbel zo duur als de eerste EUV-modellen), moeten chipfabrikanten zoals TSMC en Intel in staat stellen meerdere complexe en dure productiestappen te vervangen door één stap. Dat is vooral belangrijk omdat de huidige EUV-generatie de technische limieten nadert voor geavanceerde AI-chips; de nieuwe systemen zouden de ontwikkeling en productie van krachtiger AI-processoren moeten versnellen. Pieters stelde dat er inmiddels genoeg leer- en testcycli zijn geweest om te concluderen dat ASML “op een kritisch punt” staat.

Ondanks de technische gereedheid verwacht ASML dat het twee tot drie jaar duurt voordat klanten de machines volledig hebben gekwalificeerd en geïntegreerd in hun volumeproductie. Huidige uptime ligt rond 80% en het bedrijf streeft naar 90% tegen het einde van het jaar. De vrijgegeven beeldvormingsdata moeten chipfabrikanten overtuigen dat één High-NA-stap meerdere oudere stappen kan vervangen, wat de weg vrijmaakt voor het leveren van AI-chips volgens strakke roadmaps.